比利時IMEC與荷蘭Holst Centre開發(fā)出了高靈敏度的氣體傳感器。該傳感器可以檢測出濃度在ppm級別的氣體。新產(chǎn)品的尺寸也小于原產(chǎn)品，可作為“Electronic Nose（電子鼻）”用于食品管理、醫(yī)療保健以及檢測氣體泄漏等用途。

　　該氣體傳感器如同在電路上集成了IC那樣，在9mm×9mm的芯片上集成了160個小型MEMS。每個MEMS都是“橋”狀振子的一種，嵌入在壓電材料中。

　　檢測氣體的原理如下。首先，事先在該傳感器芯片上涂布高分子材料，目的是吸附希望檢測到的特定氣體。吸附氣體后，MEMS的共振頻率會發(fā)生變化，因此壓電材料產(chǎn)生的電位頻率也會發(fā)生變化。由此可以檢測出氣體的吸附情況。

　　吸附劑可以通過噴墨的方式分別涂布在每個MEMS上。由此還可以檢測出混合氣體中的各種成分比。

　　傳感器的功耗方面，每個MEMS均不到1μW。

　　目前，IMEC等正在推進將該傳感器芯片與信號讀取電路集成在一枚芯片上的開發(fā)工作。目前使用的吸附劑組合，可以辨識葡萄酒和奶酪的香味。據(jù)介紹，將來有可能用于識別人的哮喘、肺癌以及腎臟病等。

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