相對于傳統(tǒng)機(jī)械傳感器而言，MEMS傳感器因其體積小、功耗低、易于集成的特點(diǎn)，廣泛應(yīng)用在消費(fèi)電子產(chǎn)品、汽車工業(yè)、甚至航空航天、機(jī)械、化工及醫(yī)藥等各領(lǐng)域。MEMS電子元器件的大小差不多只有一個成人的指甲蓋大小，元器件體積越小，其應(yīng)用產(chǎn)品體積就會更小，比如我們使用的智能手機(jī)，其內(nèi)部的傳感器基本上都是MEMS傳感器，這也是超薄背后的秘密。

MEMS傳感器的家族包括壓力傳感器，加速度計，陀螺，靜電致動光投影顯示器，DNA擴(kuò)增微系統(tǒng)，催化傳感器，其中MEMS加速度傳感器是應(yīng)用最為廣泛的元器件之一。

加速度計是一種慣性傳感器，能夠測量物體的加速力。加速力就是當(dāng)物體在加速過程中作用在物體上的力，就比如地球引力，也就是重力。加速力可以是個常量，比如g，也可以是變量。通過測量由于重力引起的加速度，就可以計算出設(shè)備相對于水平面的傾斜角度。通過分析動態(tài)加速度，就可以分析出測量物體移動的方式。

智騰微電子SiA200系列是一種的電容體的MEMS加速度計，專為慣性應(yīng)用設(shè)計。長期穩(wěn)定性好，標(biāo)度因數(shù)重復(fù)性，低運(yùn)行偏差，振動整流誤差以及低噪音等方面具備明顯優(yōu)勢。內(nèi)部集成了信號調(diào)理、模擬±2.7V輸出、內(nèi)置自檢電路和一個溫度傳感器方便用戶進(jìn)行補(bǔ)償。能夠為戰(zhàn)術(shù)級測量需求提供有效可靠的支撐。

智騰微電子SiA200系列的應(yīng)用領(lǐng)域：

【航空航天】慣性測量單元 IMU、航空電子、姿態(tài)控制、武器發(fā)射系統(tǒng)、平臺穩(wěn)定系統(tǒng)、GPS輔助制導(dǎo)、無人機(jī)導(dǎo)航系統(tǒng)、短程制導(dǎo)、機(jī)器人技術(shù)等

【海基陸基】尋北、聲納定位、ROV 制導(dǎo)、武器發(fā)射系統(tǒng)、船舶航海和控制、單兵手持機(jī)地圖、載具定位等

【地質(zhì)勘探】LWD、MWD、鉆井導(dǎo)向、盾構(gòu)機(jī)等